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材料沉积表

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fe,费勉仪器,薄膜制备-凯发k8官网下载客户端中心

时间:2022.09.27来源 :点击次数:652次
材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
z-ratio
饱和蒸气压温度(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
e-8torr
e-6 torr
e-4torr
fe(26)
1535 7.874 0.349 858 998
1180
e38ht/e38eb/ebv
al2o3


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