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材料沉积表

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时间:2023.01.05来源 :点击次数:773次
材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
z-ratio
饱和蒸气压(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
e-8torr
e-6 torr
e-4torr

rb

rbbi40

39 1.63 2.54 -3 37
111
e38lt/e63lt/e38aa/e38am

qz

金属条

使用单质时,空气中易氧化,建议手套箱装料
使用碱金属条或二元合金条,关注密封块的融化电流




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