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材料沉积表

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时间:2022.09.27来源 :点击次数:749次
材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
z-ratio
饱和蒸气压(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
e-8torr
e-6 torr
e-4torr
ni(28)
1453 8.9 0.331 927 1072
1262
e38mt/e63mt/e38ht al2o3
-




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