中空磁耦合旋转驱动采用磁耦合驱动，其内部具有一个可以旋转的中空轴，既能提供平稳的旋转运动，还能允许电、流体或其他物质通过内部的中空轴。它具备高负载、高扭矩、高转速等特点。
| ● 驱动方式：磁耦合 | ● 适用于10-11 mbar超高真空环境 | ● 烘烤温度：150°c（移除电机及其组件） |
| ● 旋转范围：360°（可连续旋转） | ● 材质：超高真空兼容材料 | ● 上端安装法兰：cf法兰，螺纹孔 |
| ● 下端安装法兰：cf法兰，通孔 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 中空磁耦合旋转驱动（hsr） | ||||
| 安装法兰 | cf35 | cf63 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 70 | 114 | ||
| 英寸 | 2.75 | 4.5 | |||
| 旋转角度 | 360° | 360° | |||
| 最大脱耦力矩 | 6n·m | 15n·m | |||
| 驱动 | 手动 | 步进电机 | 手动 | 步进电机 | |
| 分辨率 | 1° | 0.02° | 1° | 0.001° | |
| 重量 (kg) | 3.0 | 5.0 | 6.9 | 8.0 | |
| 型号 | hsr35m | hsr35a | hsr63m | hsr63a | |
| xy驱动 | 3040100001 | 3040100002 | 3040100003 | 3040100004 | |
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