高精度差分旋转驱动通过使用交叉滚子轴承，提高了旋转驱动的精度和刚度。此外，它还配备了光电编码器，通过伺服电机驱动蜗轮蜗杆，再由光电编码器进行闭环控制，实现组件在超高真空环境里的旋转运动。它旋转角度为±175°，适用于高精度和高负载的应用场合。
| ● 适用于10-11 mbar超高真空环境 | ● 一级差分实现超高真空性能 | ● 烘烤温度：120°c |
| ● 旋转范围：±175° | ● 采用伺服马达驱动 | ● 上端安装法兰：cf法兰，螺纹孔 |
| ● 下端安装法兰：cf法兰，螺纹孔 | ● 闭环控制 | ● 光栅尺分辨率：≤0.0001° |
| ● 可承受大负载：>2000kg |
| 品名 | 高精度差分旋转驱动（hdprf） | |
| 安装法兰 | cf150 | |
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 203 |
| 英寸 | 8.0 | |
| 旋转角度 | ±175° | |
| a (mm) | 338 | |
| b (mm) | 288 | |
| c (mm) | 104 | |
| d (mm) | 102 | |
| e (mm) | 90 | |
| 驱动 | 伺服电机 | |
| 重量 (kg) | 29.2 | |
| 型号 | hdprf150ap | |
| xy驱动 | 3040400008 | |
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