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材料沉积表

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时间：2022.09.27来源 ：点击次数：764次
材料 符号（原子序数）
 熔点(℃)
 密度（g/cm³）
 z-ratio
 饱和蒸气压(℃)
 建议蒸发源*
 建议坩埚*
 注意事项
e-8torr
 e-6 torr
 e-4torr
锰 mn（25）
 1244 7.43 0.377 507 572
 647
 e38lt/e38mt al2o3
 -




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