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材料沉积表

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时间:2022.09.27来源 :点击次数:591次
材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
z-ratio
饱和蒸气压温度(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
e-8torr
e-6 torr
e-4torr
ag(47)
961 10.5 0.529 847 958
1105
e38mt/e63mt/e38ht
al2o3/mo


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