紧凑型三维平移台能够实现组件的真空内部分在xyz轴方向的运动。xy方向采用微分头驱动，z方向采用手轮驱动，并具有自锁功能。结构稳固，精度高，尺寸小巧。
| ● 压力范围：1bar~10-11mbar | ● 驱动方式：手动 | ● 最高烘烤温度：150℃ |
| ● 焊接波纹管材质：ss316l | ● 微分头分辨率：10μm | ● z轴刻度以1mm递增 |
| ● 上端安装法兰：cf35，螺纹孔 | ● 下端安装法兰：cf63，通孔 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 紧凑型三维平移台（sxyz） | |||
| 上端移动法兰 | cf35 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 70 | ||
| 英寸 | 2.75 | |||
| 下端安装法兰 | cf63 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 114 | ||
| 英寸 | 4.5 | |||
| xyz驱动 | 手动 | |||
| xy行程 (mm) | ±12.5 | |||
| z行程 (mm) | 75 | 100 | 150 | |
| a拉伸 (mm) | 240 | 265 | 315 | |
| b压缩 (mm) | 165 | 165 | 165 | |
| c (mm) | 255 | 280 | 330 | |
| 重量(kg) | 10.2 | 10.5 | 10.9 | |
| 型号 | sxyz63z75 | sxyz63z100 | sxyz63z150 | |
| 订购编码 | 3042100001 | 3042100002 | 3042100003 | |
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