全尺寸三维平移台能够实现组件的真空内部分在xyz轴方向的运动。x/y方向采用交叉滚子和滚珠丝杆结构，驱动方式为步进电机 手轮。z方向采用光轴和滚珠丝杆组合的运动结构，并有自锁功能，驱动方式为步进电机。结构稳固，高负载，精度高。
| ● 压力范围：1bar~10-11mbar | ● 烘烤温度：150℃ (移除电机及其组件) | ● 焊接波纹管材质：ss316l |
| ● 通径：102mm | ● 上端安装法兰：cf100法兰，通孔 | ● 下端安装法兰：cf150法兰，螺纹孔 |
| ● x/y驱动：步进电机 (分辨率≤1μm，精度≤10μm) 手轮 | ● z驱动：步进电机 (分辨率≤1μm，精度≤10μm) | ● 可接受定制 |
| 品名 | 全尺寸三维平移台（cfxyz） | |||
| 上端移动法兰 | cf100 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 152 | ||
| 英寸 | 6.0 | |||
| 下端安装法兰 | cf150 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 203 | ||
| 英寸 | 8.0 | |||
| xy行程 (mm) | ±12.5 | |||
| z行程 (mm) | 200 | 350 | 500 | |
| a拉伸 (mm) | 508 | 658 | 808 | |
| b压缩 (mm) | 308 | 308 | 308 | |
| c (mm) | 565 | 715 | 865 | |
| z驱动 | 步进电机 | |||
| xy驱动 | 手轮 步进电机 | |||
| 型号 | cfxyz150z200m-1083 | cfxyz150z350m-1083 | cfxyz150z500m-1083 | |
| 订购编码 | 3042310009 | 3042310017 | 3042310025 | |
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