中型三维平移台能够实现组件的真空内部分在xyz轴方向的运动。x/y方向采用交叉滚子运动结构，稳固牢靠，驱动方式可选步进电机或微分头。z方向采用光轴和滚珠丝杆组合的运动结构，运动平稳，并具有自锁功能，驱动方式为步进电机 手轮。
| ● 压力范围：1bar~10-11mbar | ● 烘烤温度：150℃ (移除电机及其组件) | ● 焊接波纹管材质：ss316l |
| ● 通径：65mm | ● 上端安装法兰：cf63法兰，通孔 | ● 下端安装法兰：cf100法兰，螺纹孔 |
| ● x/y驱动：步进电机(分辨率≤1μm, 精度≤10μm)或微分头(分辨率10μm) | ● z驱动：步进电机(分辨率≤1μm，精度≤10μm) 手轮 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 中型三维平移台（mxyz） | ||||
| 上端移动法兰 | cf63 | ||||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 114 | |||
| 英寸 | 4.5 | ||||
| 下端安装法兰 | cf100 | ||||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 152 | |||
| 英寸 | 6.0 | ||||
| xy行程 (mm) | ±7.5 | ||||
| z行程 (mm) | 100 | 200 | |||
| a拉伸 (mm) | 399 | 499 | |||
| b压缩 (mm) | 299 | 299 | |||
| c (mm) | 463 | 563 | |||
| z驱动 | 步进电机 手轮 | 步进电机 手轮 | |||
| 重量(kg) | 微分头 | 步进电机 | 微分头 | 步进电机 | |
| 型号 | mxyz100z100s-0108 | mxyz100z100s-0128 | mxyz100z200s-0108 | mxyz100z200s-0128 | |
| 订购编码 | 3042200008 | 3042200012 | 3042200032 | 3042200036 | |
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