高精度全尺寸三维平移台可在超高真空环境下实现设备在x、y、z三个方向上的平稳运动，具有极高的运动精度。该平台采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆，结构稳固可靠。所有控制方式为伺服电机 光栅尺，能够实现亚微米级精度和全闭环控制，高精度，高负载，运动法兰角度可调（±3°）。
| ● 压力范围：1bar~10-11mbar | ● 局部波纹管部分可烘烤150℃ | ● 焊接波纹管材质：ss316l |
| ● 通径：102mm | ● 上端安装法兰：cf100法兰，通孔 | ● 下端安装法兰：cf150法兰，通孔 |
| ● xyz轴分辨率：0.2μm | ● 伺服电机驱动 | ● 可接受定制 |
| ● 光栅尺闭环反馈 |
| 品名 | 高精度全尺寸三维平移台（hfxyz） | ||
| 上端移动法兰 | cf100 | ||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 152 | |
| 英寸 | 6.0 | ||
| 下端安装法兰 | cf150 | ||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 203 | |
| 英寸 | 8.0 | ||
| xy行程 (mm) | ±12.5 | ||
| z行程 (mm) | 300 | 550 | |
| a拉伸 (mm) | 710 | 960 | |
| b压缩 (mm) | 410 | 410 | |
| c (mm) | 765 | 1015 | |
| z驱动 | 伺服电机 | ||
| xy驱动 | 伺服电机 | ||
| 型号 | hfxyz150z300m-1055 | hfxyz150z550m-1055 | |
| 订购编码 | 3042320009 | 3042320019 | |
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