fermi bl-1010s 聚焦型真空紫外光源经过特殊的结构设计，使用三级差分腔体，通过超高真空阀隔离聚焦毛细管与差分腔，能够使多种工作气体（he, ne, ar, kr, xe...）满足小光斑，气压增量小的要求。
| ● 总通量：> 3 x 10 ^ 13 photons/sec | ● 分辨率：<1mev @ xe（8.43ev） | ● 电源：由24v / 200 w电源驱动的紧凑型固态射频源 | ● 三级差分泵抽 | ● 强制风冷和水冷 |
| ● 高效聚焦传输毛细管 | ● 兼容超高真空，全金属密封 | ● 选配：带角度调节模块（port aligner）线性驱动 | ● 移动行程：75mm | ● 倾角范围：±3° |
| 光谱测试 | |
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| courtesy of prof.h.ding's system in iop, cas | courtesy of prof.d.l.feng's system in fudan university |
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