费勉bl1200s 是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源，包含差分腔体，一个单色腔体，一个多滤片变换装置，一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀，能够使用多种工作气体（he, ne, ar, kr, xe...），满足小光斑，气压增量小的要求。
| ● 可伸缩调节机制 | ● 75mm行程线性驱动 | ● 角度调节机制：倾角范围：±3° |
| ● 固态射频电源，射频线缆 | ● 强制风冷和水冷 | ● 兼容超高真空，全金属密封 |
| 气体 | 能量 (ev) | 波长(nm) | 电流 (na) | 光子数 photons/s |
| he | 21.2 | 58.5 | 33.8 | 1.56e12 |
| hell | 40.83 | 30.37 | 1.0 | 1.04e11 |
| ne | 16.85 | 73.59 | 11 | 4.43e11 |
| ar | 11.83 | 104.82 | 7.5 | 4.96e11 |
| kr | 10.03 | 123.58 | 2.4 | 7.5e11 |
| xe | 8.43 | 146.96 | 1.5 | 9.3e13 |
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