费勉仪器科技有限公司自主设计的bl-1030s 系列真空紫外光源，使用三级差分腔体，通过超高真空阀隔离聚焦毛细管与差分腔，能够使用ar，kr，xe，n2，h2等多种工作气体，覆盖了30 nm-150 nm（41 ev -8.3 ev）的多个光子能量，光子通量达到1013 photons/s
| ● 宽光谱：8.43ev ~ 40.8ev（30.3nm-147.6nm） | ● 工作气体：he，ne，ar，kr，xe，... | ● 电源：由24v / 200 w电源驱动的紧凑型固态rf源 |
| ● 兼容uhv，全金属密封 | ● 使用寿命长：> 20000小时 |
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