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紫外光源-凯发k8官网下载客户端中心

费勉bl-1100s 是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使用多种工作气体(he, xe),满足小光斑,气压增量小的要求。

规格说明
● 可伸缩调节机制● 75mm行程线性驱动● 角度调节机制:倾角范围:±3°
● 固态射频电源,射频线缆● 强制风冷和水冷● 兼容超高真空,全金属密封
测试报告

n119.png

标签: 超高真空mbe
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